「すべてをグリーンにします」富士通環境広告シリーズ

NAS電池の導入で、地球温暖化防止。世界最先端の半導体工場の責任のひとつです。

出演：富士通 電子デバイス事業本部 施設部 及川宏幸

掲載媒体：日本経済新聞
掲載日：2005年9月6日

「CO2の排出量を大きく減らせたのは、私の後ろにある大きなNAS電池のおかげです。」と語るのは、富士通の半導体工場づくりを手がける、及川宏幸。NAS電池は、夜間の電力を蓄電して昼間に使う電力システム。電力を安定供給し、落雷などによる瞬低を防ぎます。今年4月、稼働を始めた300ミリ・ウェーハ量産工場の三重新棟では、このNAS電池の導入により、従来から採用されてきた自家発電システムと比較してCO2排出量を年間約3万トン削減しました。
「でもこれだけではありません。三重新棟の環境対策はすべてがトップレベル。三重の環境を決して変えない、という決意を形にしました。」新棟では、天然ガス燃料への全面転換とエネルギーの高効率化、自然エネルギーの有効活用など、すべての工程で徹底して動力や熱エネルギーのロスを削減。これらの総合的なエネルギー管理によって新棟でのCO2総排出量は、従来の当社生産ラインと比べて1年間で約52%、5万トン抑制できました。これは杉の木が1年間に吸収するCO2量の約350万本に相当します。

また、半導体工場で世界初の「ハイブリッド免震構造」^注2も導入。震度7の大地震にも耐えられ、薬品・廃液漏洩による環境汚染を防ぎます。さらにプロセス工程での化学物質の徹底した削減・リサイクルや排水・排気の高度な浄化処理などにより、近隣の自然環境にも配慮しています。富士通は、世界最先端の環境技術を結集した工場によって、「自然と共生したものづくり」を実現しています。

注1：半導体量産工場へのNAS電池導入。
注2：半導体の微細加工に影響を与える微震動と大規模地震の両方に対応する免震構造。